韩媒近期披露一则行业重磅消息:长鑫存储全新键合DRAM方案取得关键技术突破,跳出传统制程路线束缚,依托现有成熟DUV设备即可制造高端高密度内存,直接缓解高端存储芯片长期面临的先进设备制约难题。
一、传统DRAM工艺痛点:高端产品高度依赖EUV光刻机
常规DRAM芯片制造逻辑,需要存储单元与运算控制电路集成在同一片硅晶圆之上。行业想要持续扩容、提升传输速率,只能不断缩小内部线路尺寸,工艺迭代高度依赖EUV极紫外光刻机。受外部设备出口管控影响,国内厂商难以获取该设备,高端DRAM、HBM高带宽内存的升级之路长期受阻。
二、长鑫键合DRAM创新路线:分晶圆制造+混合键合,仅用DUV即可量产
长鑫存储跳出传统单片集成思路,采用分层制造的全新技术路径:
将存储阵列晶圆、外围控制电路晶圆分开独立加工,两道工序全部依托国内已成熟量产的DUV深紫外光刻机完成;两片晶圆制作完成后,通过高精度晶圆混合键合工艺实现原子级贴合堆叠,如同积木拼接一般整合为完整高性能内存芯片。
这套新工艺不仅能大幅提升内存存储容量与数据传输速度,行业普遍判断,该技术落地后将重构全球DRAM产业发展格局。
目前长鑫已在合肥建成专属试验产线,集结大批资深研发工程师全力攻坚,目标抢先三星、SK海力士完成键合DRAM的商业化落地,抢占下一代存储技术赛道先机。
三、核心战略价值:彻底摆脱EUV设备依赖,走出差异化自主路线
这项技术最核心的意义,是实现高端DRAM制造对EUV光刻机的去依赖。过往高端存储、HBM产品的工艺迭代均绕不开EUV设备,外部设备限制直接锁住国内高端存储升级空间;而键合DRAM方案仅依靠存量成熟DUV产线,就能产出高密度高端内存,开辟出一条不受海外先进设备约束的国产存储发展路径,无需单纯死磕先进光刻制程完成技术追赶。
四、全产业链红利梳理,多条赛道迎来景气增量
1. 先进封测、晶圆键合设备赛道直接受益
键合DRAM的核心工序集中在晶圆键合设备、3D先进封装环节,随着试验线推进、后续大规模扩产落地,国内封测厂商、混合键合专用设备企业将迎来订单持续放量。
2. 存量DUV产线价值重估,上游耗材需求长期上行
原本存量成熟DUV产线产能价值大幅提升,配套产业链同步打开增长空间,光刻胶、抛光液、特种电子化学品等半导体国产耗材,将迎来长期稳定增长需求。