拒绝美国禁令,荷兰ASML公开宣称:“要对华出口DUV光刻机。”荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)日前表示,公司在中国市场明年业务非常乐观。预计到2023年底,ASML累计对中国交付1400台光刻机和量测机台。
美国10月18日在限制英伟达的人工智能(AI)芯片的销售,同时还有光刻机。而在更早此前的6月30日,荷兰政府限制半导体设备出口,除了之前已经被限制的最先进EUV光刻机之外,连DUV光刻机最先进的型号也会限制,其中包括2000i/2050i。该类型光刻机通常被用于28nm制程芯片。
然而荷兰ASML依然没有停止对华出售光刻机。
ASML全球副总裁、中国区总裁沈波表示,自1988年起,ASML就一直在对华供应光刻机,中国大陆已经成为ASML最重要的市场之一,而当季中国大陆的销售额更是占到了ASML整体销售额的46%。“如果各方面都配合得符合预期,ASML将会在2026年初具备500-600台DUV之间的全球供应产能”。
荷兰ASML公司拒绝美国禁令,坚持向中国出口DUV光刻机有三大原因:
首先是ASML公司不可能放弃庞大的中国市场。据韩国媒体统计,在全球芯片厂商100强中,大陆厂商就占据了42家。全球28纳米以上芯片最大制造产业集群就在中国,也只有中国还存在增加订购DUV光刻机的市场空间;其次中国已开始具备制造DUV光刻机的能力。上海微电子已经成功研发出第一台国产28纳米DUV光刻机,首台交付时间就在2024年。上海微电子才刚研发出28纳米DUV光刻机,荷兰ASML就宣布,不顾美国反对,坚决要对中国大规模出口DUV光刻机。
最后,DUV光刻机对美国技术依赖较低。DUV光刻机使用的是深紫外光源,而全球能够提供深紫外光源技术的供货商有三家,分别是美国Cymer、日本Gigaphoton和中国的科益虹源。也就是说,DUV光刻机可以完全摆脱美国技术,ASML想卖,美国也阻止不了。