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荷兰ASML光刻机凭什么拿下世界霸主的地位?

时间:2020-06-17 14:37:51 浏览:1562

如果将芯片与雕刻版画相比较,芯片的生产制造过程是在硅基板上-""-首先涂上一层称之为光刻胶的"墨水",随后用光当做"",在硅基板上"延展"出所需的图样,随后用化学制品雕刻刀雕刻出图样。

这其中,使用光当做""和印刷图样的流程称之为光刻工艺。光刻工艺是数百种工艺技术中芯片生产中最重要的流程之一,图样线的薄厚直接影响到后面的雕刻流程。现阶段行业市场上主流产品的光刻工艺是DUV(深紫外)技术,最先进性的是EUV技术。

环顾全球,光刻工艺行业市场基本被三家厂商瓜分:荷兰的AsMAI(ASML)、日本的尼康(Nikon)和佳能(cannon)

在这三个行业中,ASML是一个当之无愧的领导者。通过中国银行国际报告(BankOfChinaInternationalReport)的数据,ASML在世界各国行业市场的市场占有率高达89%!剩下的两个行业的市场份额分别为8%3%,而二者之间加起来只有11%。在EUV光刻工艺行业市场上,ASML的市场份额是100%

ASML创立于1984年,比尼康(1917年创立,1980年售出第一台半导体光刻机)和佳能(创建于1937年,1970年在日本发布了第一台半导体光刻机)更晚进入当地光刻工艺行业市场。在创立之初,ASML只有31名公司员工,遭遇着破产的资产链。

ASML是一家采取"无工厂模式"的光刻工艺设备厂商,主要产品为光刻机,并为光刻工艺系统给予计量检测设备和智能管理系统。

世界各国芯片厂商订购的绝大多数订单都是ASML获得的。例如,在2019年,ASML运载了229台光刻机,净销售额为118.2亿欧元,净利润为25.2亿欧元。相较之下,尼康售出了46台,佳能售出了84台。

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除了占主导地位的出货量外,ASML还代表着全球一流的光刻工艺。在ASML2019年市场销售的229台光刻机中,有26台是现如今最高端的EUV光刻机。在EUV光刻工艺行业市场上,ASML是唯一的竞争者。

EUV光刻工艺采用13.5nm波长光源,是突破10nm芯片工艺技术节点不可缺少的专用工具。也就是说,即使DUV光刻工艺可以从Nikon和佳能中寻找,但没有ASMLEUV光刻工艺,芯片巨头TSMC、三星、英特尔的5nm生产线也难以资金投入生产制造。

回顾ASML36年的发展史,从一家小公司蜷缩在木屋成长为全世界光刻工艺占主导地位的根本原因之一,是历史新机遇之一,林本健及时性提出了浸入式光刻工艺的思路。殊不知,更加关键性的是ASML的精确、创新性和关键性的挑选.比如,在21世纪初,ASML放弃了干式维英,继而采用浸入式光刻工艺;比如,早在1997年,ASML就以自己的妥协让步进入EUVLLCASML还对业务和技术应用之间的关系拥有 深刻的理解。数年来,对技术研发的大力资金投入已变成其抓住机遇的重要根本原因。伴随着技术应用的发展趋势,ASML也获得了客户的支持,进而在全世界光刻工艺市场上获得了更大的发展趋势。

依据ASML在过去的36年的历史,本文对在我国进行了比较。1977年,在我国第一台光刻工艺诞生,芯片直径为75mm。现阶段,国內光刻工艺生产厂家有上海微电子、中国科学院光电研究所等,机器设备先进到22nm节点,国际上最先进的技术应用突破了5nm节点。毋庸置疑,国产光刻机还有相当长的路要走。

芯片是中国制造业的痛点。无论是最近关于 华为被美国断开芯片的信息,还是"本土化""电力半导体""感应器芯片"及其政府全国两会工作总结报告中的其他议题,它们身后的事实全部都是黯淡的。我们过去常常在极端的条件下生产制造原子弹,可是今天,中国的国內GDP已经达到100万亿美元,中国依然很难创建自己的核心内容。在各种艰难中,光刻工艺直接卡在制作而成的芯片上。

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